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Linetech質量流量計

簡要描述:

Linetech質量流量計廣泛應用于:真空鍍膜設備、光電產業到工業工具的表面鍍膜、SPUTTER磁控濺射臺、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等離子刻蝕、離子注入,直拉式晶爐,精密半導體、燃料電池、氣調儲存保鮮相關設備、生物反應器、生物過程控制器、大學實驗室、研究所、食品及制藥產業、醫療設備、氣相色譜儀等相關行業。

更新時間:2023-01-05

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 Linetech質量流量計廣泛應用于:真空鍍膜設備、光電產業到工業工具的表面鍍膜、SPUTTER磁控濺射臺、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等離子刻蝕、離子注入,直拉式晶爐,精密半導體、燃料電池、氣調儲存保鮮相關設備、生物反應器、生物過程控制器、大學實驗室、研究所、食品及制藥產業、醫療設備、氣相色譜儀等相關行業。

 

 Linetech質量流量計主要參數:

 

流量范圍:               0.005-1000(slpm)

響應時間:               ≤2

精    度:               ≤1%0.2%

重 復 性:               ±0.25

輸出信號:               0-5vdc或4-20mA

供電電壓:               15-28vdc

溫度范圍:               0-50℃

 

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