更新時間:2024-10-16
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數字式質量流量控制器產品特點
測量質量流量
無需溫度和壓力補償
結構緊湊
精度高
工作壓力高
響應時間快
重復性高
數字式質量流量控制器技術參數
量程范圍:5SCCM-1500SLPM
精度:±1%滿量程
量程比:50:1
重復性:<0.2%讀數
操作溫度:-10~50℃
泄露率:< 2 x 10-9mbar l/s He
預熱時間:標準30min
壓力等級:3MPa;10MPa
接液材質:316L
密封材質:標準Viton,可選EPDM、Kalrez
防護等級:IP40
供電電源:+15~24VDC
電流:70mA
模擬量輸出信號:0-5VDC;4-20mA;0-10VDC
數字輸出信號:無
電氣接口:標準DB9 M
過程接口尺寸:可選
數字式質量流量控制器訂貨參數
氣體種類
量程范圍(標準狀態下量程)
使用壓力
入口壓力
使用溫度
精度要求
輸出信號
過程接口尺寸